格物光学ARD120系列—精密气浮转台以超薄的外形提供了出色的角度定位、速度稳定性和误差运动性能，旨在满足晶圆检 查、高精度计量、X射线衍射系统、光学检查和制造以及MEMS&纳米技术设备制造的严格要求。
产品手册：
- 高动态响应、非接触力矩电机驱动
- 高精度的光学式线性编码器反馈
- 高刚度、高精度封闭式气浮轴承设计
- 纳米级端跳、轴跳精度
- 超薄尺寸设计
规格与参数
ARD180-00
ARD220-00
精度/Accuracy
重复精度/Repeatability
轴向跳动/Axial Error Motion
径向跳动/Radial Error Motion
<250nm
倾斜误差/Tilt Error Motion
<0.7 arcsec
最大持续转矩/Maximum Torque (Continuous)
5.99 N·m
最大转速/Max Speed
<1000 rpm
机械特征/MechanicalSpecifications
最大负载/Max Load
轴向/Axia
66Kg
径向/Radial
精密气浮转台可选项：在ARD120系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括尺寸、编码器等选项。
表2 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
增量式数字光学式线性编码器，RS422
绝对式光学式线性编码器，BISS
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