格物光学PART100精密气浮轴承转台主要面向半导体设备以及激光领域；高精度的回转精度，提供超平稳的运动，角秒级别的精度和绝对重复性；高超的制造水平，保证了气浮轴承的质量和稳定性；轻质化设计，产品重量轻，更便于集成。
产品手册：
- 大负载、高精度的气浮轴承
- 重复性高、可实现极高定位精度
- 高水平的加工技术
- 灵活定制
规格与参数
台面直径/Tabletop Diameter
100mm
高度/Height
95mm
中孔尺寸/Aperture
25mm
最高转速/Max Speed
600 rpm@48v
峰值扭矩/Peak Torque
3.9N.m
连续扭矩/Continuous Torque
3.2N.m
定位精度/Accuracy
±1.5arc sec
重复定位精度/Repeatability
±1arc sec
轴向(Axial)
530N
径向(Radial)
170N
<100nm
径向误差运动（同步）/Radial Error Motion(Synchronous)
<200nm
倾摆误差运动（同步）/Tilt Error Motion(Synchronous)
<2.5urad
供气压力/Operating Pressure
0.5Mpa
耗气量/Air Consumption
<25L/min
质量/Total Mass
4kg
*精度检测转速为60rpm 检测标准为GBT+17421.7-2016(IS0230-7-2006)以及GB/T17421.22000，环境温度为22°±0.5C
格物光学LART150精密气浮轴承转台主要面向半导体设备以及激光领域；精巧的设计，保证在极小的高度内(65mm)，实现大中空(φ75)；高精度的回转精度，提供超平稳的运动,角秒级别的精度和绝对重复性；高超的制造水平，保证了气浮轴承的质量和稳定性。
65mm
75mm
800 rpm
8N.m
2.6N.m
8kg
30kg
5kg
适配驱动器/Adapted Driver
*精度检测转速为60rpm检测标准为GBT+17421.7-2016(1SO230-7-2006)以及GB/T17421.22000，环境温度为22°±0.5C
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