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单轴精密位移台

  • 格物光学-单轴精密位移台.png


    格物光学LTS165系列—单轴精密位移台采用了紧凑扁平的设计思想，能实现水平向高精度、高刚度直线运动，可广泛应用于激光切割、半导体、平板显示、自动化等领域。


    产品手册： 格物PDF.png

    特点：机械尺寸图：

    - 高动态响应、非接触直线电机驱动

    - 高精度的光学式线性编码器反馈

    - 高刚度、高精度滚珠导轨设计

    - 优异的定位精度和动态性能

    格物光学-单轴精密位移台尺寸.png


  • 规格与参数


    		LT5165-100T5165-200LT5165-300LTS165-400LT5165-500LT5165-600
    行程/Travel100mm200mm300mm400mm500mm600mm
    最大速度/Maximum Speed2m/s
    最大加速/Maximum Acceleration3g
    精度/Accuracy±1μm±1.5μm±1.5μm±1.5μm±2μm±2μm
    双向重复精度 /Bidirectional Repeatability±0.5μm
    直线度/Straightness ±2.5μm±4μm±6μm±8um±9μm±10μm
    俯仰/Pitch29μrad (6 arcsec)40μrad (8.2arcsec)58rad (12arcsec)70μrad (14.4 arcsec)80rad (16.5arcsec)90μrad (18.6arcsec)
    横滚/Roll29μrad (6 arcsec)40μrad (8.2arcsec)58 Mrad (12arcsec)70μrad (14.4arcsec)80ra (16.5arcsec)90 μrad (18.6arcsec)
    偏摆/Yaw29rad (6 arcsec)40rad (8.2arcsec)58rad (12arcsec)70rad (14.4 arcsec)80rad (16.5arcsec)0ra (18.6arcsec)
    机械特征/Mechanical Specifications
    驱动负载（无负载） /Moving Mass (without payload) 2.9Kg
    最大负载/Max Load Capacity 40g
    平台质量/Stage Mass9.1Kg10.8Kg12.5Kg14.2Kg15.8Kg17.5Kg
    外观尺寸 (mm)/Dimension(mm) 396mm x 245mm x 99.5mm 496mm x 245mm x 99.5mm596mm x 245mm x 99.5mm696mm x 245mm x 99.5mm796mm x 245mm x 99.5mm896mm x 245mm x 99.5mm
    平台材料/Material航空铝，黑色阳极氧化


    定制信息

    单轴精密位移台可选项：在LTS165系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器等选项。

    表1 尺寸选项
    -100105mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -200205mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -300305mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -400405mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -500505mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -600605mm行程位移平台，配置直线电机和限位

    表2 编码器选项

    -S1

    增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp

    -S2

    增量式数字光学式线性编码器，RS422

    -S3

    绝对式光学式线性编码器，BISS


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