格物光学MZA150-120系列—气浮重力补偿垂向位移台采用了高精度的防蠕变交叉滚柱导轨设计思想，能实现垂向高精度、高刚度直线运动。其中采用了气浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，很大程度地提高垂向运动性能和寿命。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。
产品手册：
- 双重力补偿、低轮廓设计
- 高动态响应、非接触直线电机驱动
- 高精度的光学式线性编码器反馈
- 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计
- 优异的定位精度和动态性能
规格与参数
气浮重力补偿垂向位移台可选项：在MZA150-120产品序列里，配置了可根据用户实际应用选 择的可选项。可选内容包括编码器、高精度标定等选项。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
增量式数字光学式线性编码器，RS422
绝对式光学式线性编码器，BISS
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