格物光学MZM200-10系列-磁浮重力补偿垂向位移台采用紧凑扁平的轮廓尺寸设计思想。垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，很大程度地提高垂向运动性能和寿命。可实现高精度上下方向定位的升降，垂向可提供高刚度机械导轨和高性能气浮导轨选项，气浮导轨可提供更高精度的双向重复性能。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。
产品手册：
- 高动态响应、非接触直线电机驱动
- 高精度的光学式线性编码器反馈
- 高刚性、高精度导向设计
- 负载大、抗偏心能力高
- 独特的大行程磁浮重力补偿技术
- 全闭环伺服设计
- 优异的定位精度和动态性能
规格与参数
磁浮重力补偿垂向位移台可选项：在MZM200-10产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择 的可选项。可选内容包括行程、编码器、导轨等选项。
表2 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
增量式数字光学式线性编码器，RS422
绝对式光学式线性编码器，BISS
表3 导轨选项
高刚度机械导轨
高性能气浮导轨
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