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重载垂向定位台

  • 格物光学-重载垂向定位台.png


    格物光学MZH400-25系列—重载垂向定位台采用创新楔形机构的设计思想，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，通过高刚度导柱和高精度丝杠结构，使得平台具有非常高的定位精度、重复定位精度和大负载能力。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准等领域。


    产品手册： 格物PDF.png

    特点：机械尺寸图：

    - 高刚性、高精度导柱设计

    - 高精密丝杆导向设计

    - 负载大、抗偏心能力高

    - 全闭环伺服设计

    格物光学-重载垂向定位台尺寸.png


  • 规格与参数


    		MZM400-25
    行程/Travel  25mm
    最大速度/Maximum Speed  20mm/s
    加速度/Maximum Acceleration 50m/s^2 
    精度/Accuracy  ±1μm
    双向重复精度/Bidirectional Repeatability  ±0.5μm
    直线度/Straightness ±3μm
    俯仰/Pitch 100 μrad 
    横滚/Roll  100 μrad
    偏摆/Yaw  100 μrad
    正交性/orthogonality100 μrad
    机械特征/Mechanical Specifications
    驱动负载（无负载）/Moving Mass (without payload) 23Kg
    最大负载/Max Load Capacity 50Kg 
    平台质量/Stage Mass 44Kg 
    外观尺寸(mm)/Dimension(mm) 561mm X 392.4mm X 202mm 
    平台材料/Material航空铝，黑色阳极氧化


    重载垂向定位台可选项：在MZH400-25产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器等选项。

    表1 行程选项
    -1010mm行程位移平台，配置音圈电机和限位
    -2020mm行程位移平台，配置音圈电机和限位
    -3030mm行程位移平台，配置音圈电机和限位

    表2 编码器选项

    -S1

    增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp

    -S2

    增量式数字光学式线性编码器，RS422

    -S3

    绝对式光学式线性编码器，BISS


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