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堆叠式二维精密位移台

  • 格物光学-堆叠式二维精密位移台.png



    格物光学L2S125系列—堆叠式二维精密位移台采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。


    产品手册： image.png

    特点：机械尺寸图：

    - 高动态响应、非接触直线电机驱动

    - 高精度的线性光学编码器反馈

    - 高刚度、高精度导轨设计

    - 优异的定位精度和重复性表现






    格物光学-堆叠式二维精密位移台尺寸.png格物光学-堆叠式二维精密位移台尺寸.png


  • 规格与参数


    		L25125-300L25125-400
    行程/TravelXYXY
    365mm365mm410mm475mm
    最大速度/Maximum Speed1m/s1m/s1m/s1m/s
    加速度/Maximum Acceleration10m/s^210m/s^210m/s^210m/s^2
    定位精度/Position accuracy full stroke校准前indicative value±20μm
    校准后calibration±1μm
    双向重复精度/Bidirectional Repeatability±0.4μm
    直线度/Horizontal straightness±3μm±3.5μm±3μm±3.5μm
    平面度/Nertical straightness±2.5μm±5μm±2.5μm±5μm
    俯仰/Pitch±5μm±10μm±5μm±10μm
    横滚/Roll±5μm±10μm±5μm±10μm
    偏摆/Yaw±10μm±10μm±10μm±10μm
    正交性/Orthogonality±15μm
    位置稳定性/Typical position stability (3σ)*(3σ) ±2nm±2nm±2nm±2nm
    Move 1:10um within±100nm*50ms50ms50ms50ms
    Move 2:25mm within±100nm* 140ms140ms140ms140ms
    Move 3:80mm within±100nm* 170ms170ms170ms170ms
    机械特征/Mechanical Specifications
    驱动负载(无负 载)/Moving Mass (without payload)Upper Axis3.6Kg4.5Kg
    Lower Axis17Kg18.5Kg
    最大负载/Max Load Capacity2Kg6Kg
    平台质量/Stage Mass29.5Kg32Kg
    外观尺寸/Dimension650mm×604mm×125mm810mm×700mm×125mm
    平台材料/Material航空铝，黑色阳极氧化

    *测试数据来源于采用8μm pitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。




    堆叠式二维精密位移台可选项：在L25125系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的 可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。X轴底座可根据客户需求，改为大理石 底座，可提供更高的定位精度。

    表1 行程选项
    -300365mmX365mm行程位移平台，配置音圈电机和限位
    -400410mmX475mm行程位移平台，配置音圈电机和限位

    表2 编码器选项

    -S1

    标准款，Renishaw编码器

    -S2

    高端款，Heidenhain编码器

    表3 导轨选项

    -G1

    高刚性滚柱导轨

    -G2

    高精度滚珠导轨


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