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平面式二维精密位移台

  • 格物光学-平面式二维精密位移台.png



    格物光学PL90系列-平面式二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计理念，具有超薄的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。


    产品手册： image.png

    特点：机械尺寸图：

    - 高动态响应、非接触直线电机驱动

    - 高精度的线性光学编码器反馈

    - 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计

    - 优异的定位精度和动态性能





    格物光学-平面式二维精密位移台尺寸.png


  • 规格与参数


    		PL90-100PL90-200PL90-300
    行程/Travel±50mm±100mm±150mm
    最大速度/Maximum Speed500mm/s750mm/s1000mm/s
    加速度/Maximum Acceleration1g1g1g

    精度/Accuracy

    		±1.5μm±2μm±2.5μm
    双向重复精度/Bidirectional Repeatability±0.5μm
    直线度/Horizontal straightness±1μm±1.5μm±2μm
    平面度/Nertical straightness±1μm±1.5μm±2μm
    俯仰/Pitch12 arcsec15 arcsec18 arcsec
    横滚/Roll12 arcsec15 arcsec18 arcsec
    偏摆/Yaw6 arcsec8 arcsec10 arcsec
    正交性/Orthogonality20 arcsec20 arcsec20 arcsec
    机械特征/Mechanical Specifications
    驱动负载(无负 载)/Moving Mass (without payload)Upper Axis2.9Kg8.6Kg16.3Kg
    Lower Axis8.4Kg16.7Kg45Kg
    最大负载/Max Load Capacity15Kg26Kg30Kg
    平台质量/Stage Mass11Kg25Kg54Kg
    外观尺寸/Dimension250mmx230mmx60mm360mmx340mmx90mm410mmx410mmx90mm
    平台材料/Material航空铝，黑色阳极氧化


  • 定制信息

    平面式二维精密位移台可选项：在PL90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。

    表1 尺寸选项
    -100100mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -200200mm行程位移平台，配置直线电机和限位
    -300300mm行程位移平台，配置直线电机和限位

    表2 编码器选项

    -S1

    增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp

    -S2

    增量式数字光学式线性编码器，RS422

    -S3

    绝对式光学式线性编码器，BISS


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