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平面式二维精密位移台

产品信息
规格参数
定制信息

格物光学-平面式二维精密位移台.png

格物光学PL90系列-平面式二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计理念，具有超薄的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。

产品手册：

特点：

机械尺寸图：

- 高动态响应、非接触直线电机驱动

- 高精度的线性光学编码器反馈

- 高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计

- 优异的定位精度和动态性能

格物光学-平面式二维精密位移台尺寸.png

规格与参数

		PL90-100	PL90-200	PL90-300
行程/Travel		±50mm	±100mm	±150mm
最大速度/Maximum Speed		500mm/s	750mm/s	1000mm/s
加速度/Maximum Acceleration		1g	1g	1g
精度/Accuracy		±1.5μm	±2μm	±2.5μm
双向重复精度/Bidirectional Repeatability		±0.5μm
直线度/Horizontal straightness		±1μm	±1.5μm	±2μm
平面度/Nertical straightness		±1μm	±1.5μm	±2μm
俯仰/Pitch		12 arcsec	15 arcsec	18 arcsec
横滚/Roll		12 arcsec	15 arcsec	18 arcsec
偏摆/Yaw		6 arcsec	8 arcsec	10 arcsec
正交性/Orthogonality		20 arcsec	20 arcsec	20 arcsec
机械特征/Mechanical Specifications
驱动负载(无负载)/Moving Mass (without payload)	Upper Axis	2.9Kg	8.6Kg	16.3Kg
驱动负载(无负载)/Moving Mass (without payload)	Lower Axis	8.4Kg	16.7Kg	45Kg
最大负载/Max Load Capacity		15Kg	26Kg	30Kg
平台质量/Stage Mass		11Kg	25Kg	54Kg
外观尺寸/Dimension		250mmx230mmx60mm	360mmx340mmx90mm	410mmx410mmx90mm
平台材料/Material		航空铝，黑色阳极氧化

定制信息
平面式二维精密位移台可选项：在PL90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
表1 尺寸选项
-100 100mm行程位移平台，配置直线电机和限位
-200 200mm行程位移平台，配置直线电机和限位
-300 300mm行程位移平台，配置直线电机和限位

表2 编码器选项
-S1
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
-S2
增量式数字光学式线性编码器，RS422
-S3
绝对式光学式线性编码器，BISS

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表1 尺寸选项
-100	100mm行程位移平台，配置直线电机和限位
-200	200mm行程位移平台，配置直线电机和限位
-300	300mm行程位移平台，配置直线电机和限位

表2 编码器选项
-S1	增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
-S2	增量式数字光学式线性编码器，RS422
-S3	绝对式光学式线性编码器，BISS

平面式二维精密位移台

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