- 大推力

- 高寿命

- 高分辨率

- 耐切向应力

- 结构简单，体积小巧

- 适用高真空环境

- 静态和动态精密定位

- 激光调谐

- 光纤定位调节

- 微纳技术

PAPL-A5-36N/S/NU/SU

53

PAPL-A5-45N/S/NU/SU

62

PAPL-A5-60N/S/NU/SU

77

PAPL-A5-90N/S/NU/SU

107

行程@150v* [μm]/Travel range at 150v

40

50

65

100

±20%

电容** [μF]/Electrical capacitance

3

3.8

5

7.5

±20%

开环分辨率 [nm]/Open loop resolution

0.36

0.45

0.6

0.9

典型值

集成传感器/Integrated sensor

SGS

/

闭环分辨率*** [nm]/Closed loop resolution

0.72

0.9

1.2

1.8

典型值

谐振频率 [kHz]/Resonant frequency

12

10

7

4

±20%

刚度 [N/μm]/Stiffness

20

17

12

8

±20%

推力**** [N]/Push force

850

850

850

850

最大值

拉力 [N]/Pull force

150

150

150

150

最大值

工作电压 [V]/operating voltage

-20~150

/

工作温度 [℃]/operating temperature range

-20~80

/

电压接口/Voltage connection

LEMO FFA.00.250

/

传感器接口/Sensor connection

LEMO FFA.0S.304

/

线长 [m]/Cable length

1.5

0.5%

PAPL-A5-36N

A5型压电预压致动器，有效行程40μm，开环

PAPL-A5-45N

A5型压电预压致动器，有效行程50μm，开环

PAPL-A5-60N

A5型压电预压致动器，有效行程65μm，开环

PAPL-A5-90N

A5型压电预压致动器，有效行程100um，开环

PAPL-A5-36S

A5型压电预压致动器，有效行程40μm，应变片闭环

PAPL-A5-45S

A5型压电预压致动器，有效行程50um，应变片闭环

PAPL-A5-60S

A5型压电预压致动器，有效行程65μm，应变片闭环

PAPL-A5-90S

A5型压电预压致动器，有效行程100μm，应变片闭环

PAPL-A5-36NU

A5型压电预压致动器，有效行程40μm，开环，真空兼容至10^-5Pa

PAPL-A5-45NU

A5型压电预压致动器，有效行程50μm，开环，真空兼容至10^-5Pa

PAPL-A5-60NU

A5型压电预压致动器，有效行程65um，开环，真空兼容至10^-5pa

PAPL-A5-90NU

A5型压电预压致动器，有效行程100μm，开环，真空兼容至10^-5Pa

PAPL-A5-36SU

A5型压电预压致动器，有效行程40μm，闭环，真空兼容至10^-5Pa

PAPL-A5-45SU

A5型压电预压致动器，有效行程50um，闭环，真空兼容至10^-5Pa

PAPL-A5-60SU

A5型压电预压致动器，有效行程65μm，闭环，真空兼容至10^-5Pa

PAPL-A5-90SU

A5型压电预压致动器，有效行程100um，闭环，真空兼容至10^-5Pa