产品手册:
- 大推力
- 高寿命
- 高分辨率
- 耐切向应力
- 结构简单,体积小巧
- 适用高真空环境
- 螺孔接口,可选配平面端头和球形端头
- 静态和动态精密定位
- 激光调谐
型号
L
PAPL-B7-18N/S/NU/SU
37
PAPL-B7-36N/S/NU/SU
55
PAPL-B7-54N/S/NU/SU
73
PAPL-B7-72N/S/NU/SU
91
PAPL-B7-90N/S/NU/SU
109
PAPL-B7-108N/S/NU/SU
127
默认输出端为外螺纹,可定制其他输出端结构。
规格与参数
PAPL-B7-
18S
36S
54S
60S
90S
108S
公差
行程@150v* [μm]/Travel range at 150v
18
36
54
72
90
108
±20%
电容** [μF]/Electrical capacitance
3
6
9
12
15
开环分辨率 [nm]/Open loop resolution
0.18
0.36
0.54
0.72
0.9
1.08
典型值
集成传感器/Integrated sensor
SGS
闭环分辨率*** [nm]/Closed loop resolution
1.44
1.8
2.16
谐振频率 [kHz]/Resonant frequency
22
17.5
13
11
10
刚度 [N/μm]/Stiffness
225
107
75
57
44
38
推力**** [N]/Push force
1000
最大值
拉力 [N]/Pull force
300
工作电压 [V]/Operating voltage
-20~150
工作温度 [℃]/operating temperature range
-20~80
电压接口/Voltage connection
LEMO FFA.00.250
传感器接口/Sensor connection
LEMO FFA.0S.304
线长 [m]/Cable length
1.5
±0.02m
*空载下位移输出;
**电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz;
***闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器;
****推力测试:驱动电压0~150V;
其他规格可根据客户需求进行定制。
PAPL系列B7型压电预压致动器,开环版本
说明
PAPL-B7-18N
B7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环
PAPL-B7-36N
B7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环
PAPL-B7-54N
B7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环
PAPL-B7-60N
B7型压电预压致动器,有效行程60μm,开环
PAPL-B7-90N
B7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环
PAPL-B7-108N
B7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环
PAPL系列B7型压电预压致动器,闭环版本
PAPL-B7-18S
B7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环
PAPL-B7-36S
B7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环
PAPL-B7-54S
B7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环
PAPL-B7-60S
B7型压电预压致动器,有效行程60μm,应变片闭环
PAPL-B7-90S
B7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环
PAPL-B7-108S
B7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环
PAPL系列B7型压电预压致动器,开环、真空兼容版本
PAPL-B7-18NU
B7型压电预压致动器,有效行程18um,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-36NU
B7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-54NU
B7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-60NU
B7型压电预压致动器,有效行程72μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-90NU
B7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-108NU
B7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL系列B7型压电预压致动器,闭环、真空兼容版本
PAPL-B7-18SU
B7型压电预压致动器,有效行程18μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-36SU
B7型压电预压致动器,有效行程36μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-54SU
B7型压电预压致动器,有效行程54μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-60SU
B7型压电预压致动器,有效行程72μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-90SU
B7型压电预压致动器,有效行程90μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-B7-108SU
B7型压电预压致动器,有效行程108μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
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