产品手册：
- 大推力
- 高寿命
- 高分辨率
- 耐切向应力
- 结构简单，体积小巧
- 适用高真空环境
- 集成球形端头
- 静态和动态精密定位
- 激光调谐
- 光纤定位调节
- 微纳技术
型号
L
PAPL-C5-18N/S/NU/SU
32
PAPL-C5-36N/S/NU/SU
50
PAPL-C5-54N/S/NU/SU
68
PAPL-C5-72N/S/NU/SU
86
PAPL-C5-90N/S/NU/SU
104
PAPL-C5-108N/S/NU/SU
122
默认输出端为球头，可定制其他输出端结构。
规格与参数
PAPL-C5-
18S
36S
54S
60S
90S
108S
公差
行程@150v* [μm]/Travel range at 150v
18
36
54
72
90
108
±20%
电容** [μF]/Electrical capacitance
1.5
3
4.6
6
7.5
9
开环分辨率 [nm]/Open loop resolution
0.18
0.36
0.54
0.72
0.9
1.08
典型值
集成传感器/Integrated sensor
SGS
闭环分辨率*** [nm]/Closed loop resolution
1.44
1.8
2.16
谐振频率 [kHz]/Resonant frequency
14
10
8.5
7
刚度 [N/μm]/Stiffness
57
27
19
15
12
推力**** [N]/Push force
1000
最大值
拉力 [N]/Pull force
150
工作电压 [V]/Operating voltage
-20~150
工作温度 [℃]/operating temperature range
-20~80
电压接口/Voltage connection
LEMO FFA.00.250
传感器接口/Sensor connection
LEMO FFA.0S.304
线长 [m]/Cable length
±0.02m
*空载下位移输出;
**电容测试条件：常温环境，1Vpp，1kHz；
***闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器；
****推力测试：驱动电压0~150V；
其他规格可根据客户需求进行定制。
PAPL系列C5型压电预压致动器，开环版本
说明
PAPL-C5-18N
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程18μm，开环
PAPL-C5-36N
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程36μm，开环
PAPL-C5-54N
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程54μm，开环
PAPL-C5-60N
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程60μm，开环
PAPLC5-90N
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程90μm，开环
PAPL-C5-108N
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程108μm，开环
PAPL系列C5型压电预压致动器，闭环版本
PAPL-C5-18S
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程18μm，应变片闭环
PAPL-C5-36S
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程36μm，应变片闭环
PAPL-C5-54S
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程54μm，应变片闭环
PAPL-C5-60S
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程60μm，应变片闭环
PAPL-C5-90S
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程90μm，应变片闭环
PAPL-C5-108S
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程108μm，应变片闭环
PAPL系列C5型压电预压致动器，开环、真空兼容版本
PAPL-C5-18NU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程18μm，开环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-36NU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程36μm，开环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-54NU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程54μm，开环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-60NU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程72μm，开环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-90NU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程90μm，开环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-108NU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程108μm，开环，真空兼容至10-5Pa
PAPL系列C5型压电预压致动器，闭环、真空兼容版本
PAPL-C5-18SU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程18μm，闭环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-36SU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程36μm，闭环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-54SU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程54μm，闭环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-60SU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程72μm，闭环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-90SU
C5型压电陶流预应力致动器，有效行程90μm，闭环，真空兼容至10-5Pa
PAPL-C5-108SU
C5型压电陶瓷预应力致动器，有效行程108μm，闭环，真空兼容至10-5Pa
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