产品手册:
- 大推力
- 高寿命
- 高分辨率
- 耐切向应力
- 结构简单,体积小巧
- 适用高真空环境
- 集成球形端头
- 静态和动态精密定位
- 激光调谐
- 光纤定位调节
- 微纳技术
型号
L
PAPL-C7-18N/S/NU/SU
32
PAPL-C7-36N/S/NU/SU
50
PAPL-C7-54N/S/NU/SU
68
PAPL-C7-72N/S/NU/SU
86
PAPL-C7-90N/S/NU/SU
104
PAPL-C7-108N/S/NU/SU
122
PAPL-C7-180N/S/NU/SU
默认输出端为球头,可定制其他输出端结构。
规格与参数
PAPL-C7-
18S
36S
54S
72S
90S
108S
公差
行程@150v* [μm]/
Travel range at 150v
18
36
54
72
90
108
±20%
电容** [μF]/
Electrical capacitance
3
6
9
12
15
30
开环分辨率 [nm]/
Open loop resolution
0.18
0.36
0.54
0.72
0.9
1.08
1.8
典型值
集成传感器/
Integrated sensor
SGS
闭环分辨率*** [nm]/
Closed loop resolution
1.44
2.16
3.6
谐振频率 [kHz]/
Resonant frequency
22
17.5
13
11
10
4.5
刚度 [N/μm]/
Stiffness
225
107
75
57
44
38
推力**** [N]/Push force
2000
最大值
拉力 [N]/Pull force
150
工作电压 [V]/
Operating voltage
-20~150
工作温度 [℃]/
operating temperature range
-20~80
电压接口/
Voltage connection
LEMO FFA.00.250
传感器接口/
Sensor connection
LEMO FFA.0S.304
线长 [m]/Cable length
1.5
±0.02m
*空载下位移输出;
**电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz;
***闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器;
****推力测试:驱动电压0~150V;
其他规格可根据客户需求进行定制。
PAPL系列C7型压电预压致动器,开环版本
说明
PAPL-C7-18N
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环
PAPL-C7-36N
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环
PAPL-C7-54N
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环
PAPL-C7-60N
C7型压电预压致动器,有效行程60μm,开环
PAPL-C7-90N
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环
PAPL-C7-108N
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环
PAPL-C7-180N
C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环
PAPL系列C7型压电预压致动器,闭环版本
PAPL-C7-18S
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环
PAPL-C7-36S
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环
PAPL-C7-54S
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环
PAPL-C7-60S
C7型压电预压致动器,有效行程60μm,应变片闭环
PAPL-C7-90S
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环
PAPL-C7-108S
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环
PAPL-C7-180S
PAPL系列C7型压电预压致动器,开环、真空兼容版本
PAPL-C7-18NU
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-36NU
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-54NU
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-60NU
C7型压电预压致动器,有效行程72μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-90NU
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-108NU
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-180NU
PAPL系列C7型压电预压致动器,闭环、真空兼容版本
PAPL-C7-18SU
C7型压电预压致动器,有效行程18μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-36SU
C7型压电预压致动器,有效行程36μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-54SU
C7型压电预压致动器,有效行程54μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-60SU
C7型压电预压致动器,有效行程72μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
C7型压电预压致动器,有效行程90μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-108SU
C7型压电预压致动器,有效行程108μm,闭环,真空兼容至10-5Pa
PAPL-C7-180SU
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