PAPL系列-C7型压电预压致动器


  • 格物光学11-PAPL系列-C7型压电预压致动器-1.png



                                                                                                                                                             产品手册: 格物PDF.png


    特点:应用:

    大推力

    - 高寿命

    - 高分辨率

    - 耐切向应力

    - 结构简单,体积小巧

    - 适用高真空环境

    集成球形端头




    静态和动态精密定位

    - 激光调谐

    光纤定位调节

    微纳技术






    机械尺寸图:



    格物光学11-PAPL系列-C7型压电预压致动器-2.png



    型号

    L

    PAPL-C7-18N/S/NU/SU

    32

    PAPL-C7-36N/S/NU/SU

    50

    PAPL-C7-54N/S/NU/SU

    68

    PAPL-C7-72N/S/NU/SU

    86

    PAPL-C7-90N/S/NU/SU

    104

    PAPL-C7-108N/S/NU/SU

    122

    PAPL-C7-180N/S/NU/SU

    195

    默认输出端为球头,可定制其他输出端结构。






  • 规格与参数


    PAPL-C7-

    18S

    PAPL-C7-

    36S

    PAPL-C7-

    54S

    PAPL-C7-

    72S

    PAPL-C7-

    90S

    PAPL-C7-

    108S

    PAPL-C7-

    108S

    公差

    行程@150v* [μm]/

    Travel range at 150v

    18

    36

    54

    72

    90

    108

    108

    ±20%

    电容** [μF]/

    Electrical capacitance

    3

    6

    9

    12

    15

    18

    30

    ±20%

    开环分辨率 [nm]/

    Open loop resolution

    0.18

    0.36

    0.54

    0.72

    0.9

    1.08

    1.8

    典型值

    集成传感器/

    Integrated sensor

    SGS


    闭环分辨率*** [nm]/

    Closed loop resolution

    0.36

    0.72

    1.08

    1.44

    1.8

    2.16

    3.6

    典型值

    谐振频率 [kHz]/

    Resonant frequency

    22

    17.5

    15

    13

    11

    10

    4.5

    ±20%

    刚度 [N/μm]/

    Stiffness

    225

    107

    75

    57

    44

    38

    10

    ±20%

    推力**** [N]/Push force

    2000

    2000

    2000

    2000

    2000

    2000

    2000

    最大值

    拉力 [N]/Pull force

    150

    150

    150

    150

    150

    150

    150

    最大值

    工作电压 [V]/

    Operating voltage

    -20~150


    工作温度 [℃]/

    operating temperature range

    -20~80


    电压接口/

    Voltage connection

    LEMO FFA.00.250


    传感器接口/

    Sensor connection

    LEMO FFA.0S.304


    线长 [m]/Cable length

    1.5

    ±0.02m

    *空载下位移输出;

    **电容测试条件:常温环境,1Vpp1kHz

    ***闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器;

    ****推力测试:驱动电压0~150V

    其他规格可根据客户需求进行定制。



  • PAPL系列C7型压电预压致动器,开环版本

    型号

    说明

    PAPL-C7-18N

    C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环

    PAPL-C7-36N

    C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环

    PAPL-C7-54N

    C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环

    PAPL-C7-60N

    C7型压电预压致动器,有效行程60μm,开环

    PAPL-C7-90N

    C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环

    PAPL-C7-108N

    C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环

    PAPL-C7-180N

    C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环


    PAPL系列C7型压电预压致动器,闭环版本

    型号

    说明

    PAPL-C7-18S

    C7型压电预压致动器,有效行程18μm,应变片闭环

    PAPL-C7-36S

    C7型压电预压致动器,有效行程36μm,应变片闭环

    PAPL-C7-54S

    C7型压电预压致动器,有效行程54μm,应变片闭环

    PAPL-C7-60S

    C7型压电预压致动器,有效行程60μm,应变片闭环

    PAPL-C7-90S

    C7型压电预压致动器,有效行程90μm,应变片闭环

    PAPL-C7-108S

    C7型压电预压致动器,有效行程108μm,应变片闭环

    PAPL-C7-180S

    C7型压电预压致动器,有效行程180μm,应变片闭环


    PAPL系列C7型压电预压致动器,开环、真空兼容版本

    型号

    说明

    PAPL-C7-18NU

    C7型压电预压致动器,有效行程18μm,开环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-36NU

    C7型压电预压致动器,有效行程36μm,开环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-54NU

    C7型压电预压致动器,有效行程54μm,开环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-60NU

    C7型压电预压致动器,有效行程72μm,开环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-90NU

    C7型压电预压致动器,有效行程90μm,开环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-108NU

    C7型压电预压致动器,有效行程108μm,开环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-180NU

    C7型压电预压致动器,有效行程180μm,开环,真空兼容至10-5Pa


    PAPL系列C7型压电预压致动器,闭环、真空兼容版本

    型号

    说明

    PAPL-C7-18SU

    C7型压电预压致动器,有效行程18μm,闭环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-36SU

    C7型压电预压致动器,有效行程36μm,闭环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-54SU

    C7型压电预压致动器,有效行程54μm,闭环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-60SU

    C7型压电预压致动器,有效行程72μm,闭环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-60SU

    C7型压电预压致动器,有效行程90μm,闭环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-108SU

    C7型压电预压致动器,有效行程108μm,闭环,真空兼容至10-5Pa

    PAPL-C7-180SU

    C7型压电预压致动器,有效行程180μm,闭环,真空兼容至10-5Pa






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