格物光学PMNL-T系列——微步电机偏摆位移台
微步式驱动原理实现纳米级精度和高驱动力
陶瓷微步电机是一种新型仿生式压电执行器，通过多组多维度压电执行器单元按照步进式的多组动作逻辑进行驱动，实现对电机动子的直线驱动。其主要特点是体积小、驱动力大；在静态下可以保持高加持力，且无热功耗；可以将单步实现高细分，实现nm级高分辨率；步进式运动方式，可以实现mm级大运动行程。
选配增量式光栅尺实现高精度定位
非接触式光栅尺可以直接检测运动台面的位移，最大程度避免了间接位移检测带来的位置误差。
适合复杂真空环境应用
陶瓷微步电机可选配真空版本。电机静态下无热功耗，不产生磁场。
产品手册：
- 以压电微步电机作为运动执行器，高驱动力、高保持力
- 多轴并行控制
- mm大行程范围
- 集成高精度光栅尺，纳米分辨率
- 结构调平、调高
- 精密半导体设备
- 太空科学
- 无磁环境
- 真空无发热环境
- 精密医学检测设备
规格与参数
PMNLT23-ZT20A
单位
公差
运动轴/Active Axes
Z
运动性能/Positioning
Z轴运动行程/Travel range in Z
±10
mm
rX轴运动行程/Travel range in rX
±1.1
rY轴运动行程/Travel range in rY
±1
传感器/Sensor
线性光栅尺
开环分辨率/Open loop resolution
1
nm
传感器分辨率/Sensor resolution
5
传感器信号/Sensor Signalrt
AqB
Z轴单向重复性/Unidirectional
repeatability in Z
±50
典型值
rX轴单向重复性/Unidirectional
repeatability in rX
±1.2
μrad
rY轴单向重复性/Unidirectional
repeatability in rY
z轴双向重复性/Bidirectional
±100
rX轴双向重复性/Bidirectional
±2.4
rY轴双向重复性/Bidirectional
±2
速度/Nelocity
1.0
mm/s
最大值
机械特性/Mechanical Properties
垂向驱动力/Vertical driver force
200
N
垂向自锁力/Nertical holding force
300
最小值
驱动特性/Drive properties
电机类型/Motor type
陶瓷微步电机
工作电压/Operating voltage
-250~250V
V
其他/Miscellaneous
工作温度范围/operating
temperature range
0~50
℃
材料/Material
铝合金/不锈钢
电缆长度/Cable length
1.5
m
±0.02m
电机接口/Motor interface
D-Sub25 公头
传感器接口/Sensor interface
HD-Sub44 公头
外形尺寸/Dimensions
长
240
宽
高
70~96
*实际运动速度取决于驱控电路功率；
所有规格参数基于室温 (22±3℃) 环境
使用注意事项：
1. 须在洁净的室内环境中使用该电机平台；
2. 须配套使用隐冠公司提供的驱控器
可提供真空版本，满足10-5Pa真空环境要求。
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