格物光学PLA90系列-中空式平面二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计思想，具有超薄的轮廓尺寸和大中空的通 孔尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于半导体、平板显示、光 纤对准、生物医药等，特别适用于双面加工或者基因检测等领域。
产品手册：
- 高动态响应、非接触直线电机驱动
- 高精度的光学式线性编码器反馈
- 高刚度防蠕变交又滚柱导轨设计
- 优异的定位精度和动态性能
- 大中空尺寸设计
规格与参数
定制信息
中空式平面二维精密位移台可选项：在PLA90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选 择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
表2 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
绝对式光学式线性编码器，BISS
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