格物光学MZT90系列-磁浮集成式ZT台采用创新性的双轴耦合设计理念，具有非常紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现垂向轴与 旋转轴2自由度的高精度、高刚度运动。旋转轴可无限制旋转，垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技 术，降低了垂向电机的载荷，很大程度提高了垂向运动性能和寿命。该磁浮集成式ZT台也可集成在格物光学的XY台之上，实现模块化搭配组装。
产品手册：
- 高精度无限制旋转运动
- 双轴高刚性精密导向设计
- 独特的大行程磁浮重力补偿技术
- 高质量的Z轴抖动及运动和稳定性能
- 全闭环伺服设计
- 垂向最大可支持30mm机械行程
- 最大可支持转速150rpm
- 支持12'、8'、6'多种规格晶圆吸附
- 晶圆工艺控制应用，例如光学关键尺寸检查和薄膜计量
- 晶圆激光热处理
- 晶圆划线、清洁和切割
- 光刻后段
*接口尺寸数据来源于MZT90-10Stage，且垂向处于中间位。
规格与参数
*测试数据来源于采用8μmpitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
定制信息
磁浮集成式ZT台可选项：在MZT90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。 可选内容包括编码器等选项。
表1 编码器选项
标准款，Renishaw编码器
格物光学MZT11-24系列-磁浮集成式ZT台采用创新性的双轴耦合设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Z/T轴2自由度 的高精度、高刚度运动无限制旋转。和MZT90系列相比，垂向性能更高。可广泛应用于晶圆生产控制应 用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。
- 双轴高刚性、高精度导向设计
- 垂向高刚度导轨设计
- 1全闭环伺服设计
*垂向处于中间位的接口尺寸。
24 mm
*测试数据来源于8μmpitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
磁浮集成式ZT台可选项：在MZT110-24产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。 可选内容包括编码器、导轨、控制系统等选项。
表2 导轨选项
高精度气浮导轨，垂向机械行程9mm
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