格物光学PS150-155系列-极坐标精密位移台采用高度模块化、超薄型等设计理念，实现X、Z和T轴3自由度的高精度、高刚度 直线和旋转运动。其中垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，很大程度地 提高垂向运动性能和寿命。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。
产品手册：
- 高度模块化3轴平台，正交性设计
- 全局平面度、直线度达微米级
- X轴
高刚度直线导轨
高动态响应、非接触直线电机驱动
主动式风冷/水冷散热设计
- Z轴
垂向磁悬浮重力补偿，可实现高定位精度
高刚性、高精度导向设计
超薄型、轻量化设计
模块化设计
垂向最大可支持30mm机械行程
- T轴
360°旋转,无管路缠绕
支持12'、8'、6'多种规格晶圆吸附
支持最大±0.7mm翘曲晶圆
最大支持转速150rpm
规格与参数
定制信息
极坐标精密位移台可选项：在PS150-155产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp,20μmPitch
表2 垂向行程选项
垂向机械行程10mm
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