格物光学LST190-365系列—堆叠式三轴精密位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将RD-180标准模组集成在十字 平台L2S125模组之上，能实现X、Y和T轴3自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，RD-180采用了扁平 的设计思想，能实现T方向高精度、高刚度无限制旋转。交叉十字平台L2S125模组采用集成式、正交性 设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛 应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。
产品手册：
- 堆叠式3轴平台，正交性设计
- 全局平面度、直线度达微米级
- X/Y轴
高刚度、高精度导轨设计
线缆扰动力一致性设计
- T轴
无限制的角度运动，可选旋转角度硬限位
Chuck真空接口，支持多气路供气
规格与参数
定制信息
堆叠式三轴精密位移台可选项：在LST190-365产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的 可选项。可选内容包括编码器、Chuck供气路数、控制系统等选项。X轴底座可根据客户需求，改 为大理石底座，可提供更高的定位精度。
表1 编码器选项
标准款，Renishaw编码器
表2 Chuck供气选项
Chuck单气路供气
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