格物光学L3S190-350系列-堆叠式三维直线位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZM200-10标准模组集成在 十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y和Z轴3自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZM200-10标 准模组采用了大行程磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，很大程度地提高了垂向运动性能和 寿命的功能，可实现高精度上下方向定位的升降。十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念， 具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆 生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。
产品手册：
- 堆叠式3轴平台，正交性设计
- 全局平面度、直线度达微米级
- X/Y轴
高刚度、高精度导轨设计
线缆扰动力一致性设计
- Z轴
垂向磁悬浮重力补偿，可实现高定位精度
高刚性、高精度导向设计
垂向增量光栅,最高可实现5纳米分辨率
超薄型、轻量化设计
最大可支持30mm垂向机械行程
最大支持转速150rpm
规格与参数
±1 μm
±0.3 μm/1 mm
定制信息
堆叠式三维直线位移台可选项:在整个产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。 可选内容包括编码器、高精度标定和控制系统等选项。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
表2 Chuck供气选项
高刚度机械导轨
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