格物光学Z3T70-04系列--多轴精密对位平台拥有四个各自独立的自由度，包括一个旋转轴、一个垂直轴及两个摇摆和倾斜修正 轴。该Z3T70-04模块结构非常紧凑，且具备优异的定位精度和动态特性，有效满足先进半导体晶圆制造 和检测过程中对晶圆载台运动性能的特殊需求。Z3T70-04不仅为用户提高运动系统精度，简化设计难度， 还能显著提升设备的可靠性和集成度，降低设备的复杂性和总体成本，提高性价比。
产品手册：
- 高精度无限制旋转运动
- ±0.2°以上的tip和tilt精密调整
- 独特的磁浮重力补偿技术
- 非常小的轴向和径向跳动，仅±1.25μm
规格与参数
Z3T70-04
轴/Axes Name
Fine Z
Tip-Tilt
行程/Travel
±2 mm
±0.2°
360°, Infinite
最大速度/Maximum Speed
0.1 m/s
10 rad/s
加速度/Maximum Acceleration
3 m/s^2
55 rad/s^2
定位精度/Position accuracy full stroke
±0.75 arcsec
双向重复精度/Bidirectional repetition accuracy
±0.03 μm
±0.35 arcsec
到位稳定性/Typical position stability (3σ)
±15 nm
±0.08 arcsec
径向跳动/Radial runout
±1.25 μm
轴向跳动/Axial runout
机械特征/Mechanical Specifications
驱动负载（无负载）/Moving Mass (without payload)
7 Kg
3.2 Kg
最大负载/Max Load Capacity
2 Kg（可定制）
平台质量/Stage Mass
13 Kg
外观尺寸/Dimension
S262mmx69.5mm（行程中间位）
定制信息
多轴精密对位平台可选项：在Z3T70-04产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。 可选内容包括编码器、T轴硬限位、控制系统等选项。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
绝对式光学式线性编码器，BISS
格物光学Z3T110-24系列--多轴精密对位平台拥有4个自由度，提供364°的旋转角，双Z轴，其中一个用于晶圆装件与卸件的粗 大调整，一个用于调焦的精密调整，以及±0.2°以上的tip和tilt修正。该Z3T110-24模块为运动提供更优 的跟随误差控制性能，其重复精度、运动和稳定时间性能均支持更大行程运动。Z3T110-24模块主要用于 前道应用，优先于光刻后段和晶圆生产控制。
- 高精度364°旋转运动
- 双Z轴设计:
晶圆交接用的CoarseZ轴以及精密调焦用的FineZ轴
Z3T110-24
Coarse Z
T
±5 mm
364°
1 m/s^2
校准前indicative value
±10 μm
±10 arcsec
校准后calibration
±0.02 μm
±0.01 μm
±0.04 arcsec
±0.0038 arcsec
偏摆/Yaw
±0.5 arcsec
6.2 Kg
0.5 Kg
2.5 Kg（可定制）
15 Kg
S259.5mmX115.5mm（垂向处于行程中间位）
中空式平面二维精密位移台可选项：在PLA90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选 择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
表2 行程选项
Coarse Z有效行程10mm
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