格物光学L4S210-350系列-堆叠式四轴精密位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZT90标准模组集成在交叉 十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y、Z和T轴4自由度的高精度、高刚度直线运动。其中MZT90采用 创新性的双轴耦合设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Z/T轴2自由度的高精度、高刚度运动无 限制旋转。交叉十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现 水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关 键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。
产品手册：
- 堆叠式4轴平台，正交性设计
- 全局平面度、直线度达微米级
- X/Y轴
高刚度、高精度导轨设计
线缆扰动力一致性设计
- Z轴
垂向磁悬浮重力补偿，可实现高定位精度
高刚性、高精度导向设计
垂向增量光栅，最高可实现5纳米分辨率
超薄型、轻量化设计
垂向最大可支持30mm机械行程
- T轴
360旋转，无管路缠绕，支持12'、8'晶圆真空吸附
支持最大0.7mm翘曲晶圆
最大支持转速150rpm
规格与参数
±0.2 μm
*测试数据来源于*采用8μm pitch光栅尺的测试,且运动台处于主动隔振环境下。
定制信息
堆叠式四轴精密位移台可选项：在L4S210-350产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的 可选项。可选内容包括编码器、导轨和控制系统等选项。 X轴底座可根据客户需求，改为大理石底座，可提供更高的定位精度。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
表2 垂向导轨选项
高精度气浮导轨，垂向机械行程6mm
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