格物光学HS1000-00系列-复合式多轴精密位移台是二维机械导轨+空气轴承复合式运动平台，可以让客户有效地享用机械导轨与空气轴承导轨各自的优点。机械导轨在XY平面的高刚性能承受较大加速度和提供高双向重复精度，而空气轴承确保全行程优异的动态平面度。该平台采用模块化、正交性等设计理念，包含格物的MZT模块 和复合式XY台模块。MZT模块集成在复合式XY台模块之上，能实现X、Y、Z和T轴4自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动，MZT模块的垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷， 很大程度地提高了垂向运动性能和寿命。复合式XY台模块采用驱动质心匹配、柔性龙门以及轻量化设计技术，具有降低对高精度机械导轨的偏质心冲击，提高运动系统的可靠性和寿命的能力，并具有对轻微 平移Y1及Y2电机进行偏向修正功能。该平台也可集成在格物的主动减振系统模块之上，进一步提高系统性能。
产品手册：
特 点
- 集成式5轴平台，正交性设计
- 平面度、直线度达微米级
- 机械导轨与气浮导轨的复合应用
- X/Y轴
高刚度、高精度导轨设计
线缆扰动力一致性设计
高性能气浮导轨，确保全行程优异的动态平面度
- Z轴
垂向磁悬浮重力补偿，可实现高定位精度
高刚性、高精度导向设计
超薄型、轻量化设计、模块化设计
垂向最大可支持30mm机械行程
- T轴
360°旋转,无管路缠绕
支持12'、8'、6'多种规格晶圆吸附
最大支持转速150rpm
机械尺寸图：
规格与参数
±0.3 μm/2 mm
±1 μm over rang
*采用8umpitch光栅尺测试数据。
定制信息
复合式多轴精密位移台可选项：在HS1000-00产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的 可选项。可选内容包括主动减振器、编码器、控制系统等选项。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
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