格物光学VLS200系列—高真空精密二维位移台采用了符合超高真空标准的材料和1S06洁净室中的特殊工艺制造，确保可适 用于105Pa及以下超高真空环境。在实现高精度、高刚度XY运动的同时，还保证了真空环境下的热管理 与磁屏蔽需求，可广泛应用于电子束检测、电子束光刻、扫描电镜等场景。
产品手册：
- 适用于10⁵Pa及以下超高真空环境
- 低释气率、低发热真空直线电机驱动
- 独特的直线电机磁屏蔽设计
- 平台材料可选非磁性材料，整体漏磁可达nT级
- 优异的速度波动和位置稳定性
规格与参数
*非主动减振环境下的测试数据。
定制信息
高真空精密二维位移台可选项：在真空产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。 可选内容包括行程、编码器、控制系统等选项。行程可根据客户实际需求进行定制。
表1 导轨选项
常规真空导轨
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