格物光学静电吸盘控制器是双极可逆电源，特为在真空环境下静电吸盘吸附Wafer的控制应用而设计。通过控制器的两个高压接头分别向静电吸盘中通入极性相反的0~500V吸附高压，同样的，也可以提供极性相反的释放电压。此外，本控制器可以实现对Wafer的穿刺功能，通过穿刺高压接口向静电吸盘提供1000~4000V的穿刺电压。同时，该控制器可提供Wafer的吸附/释放状态以及高压穿刺结果进行监控。控制器预留有DB9接口可以实现与上位机通讯，通过上位机下发指令对控制器的功能进行控制，同时可以监测控制器的运行状态。
产品手册：
- 提供大小相等、相位相反的两相电压
- 提供穿刺电压，可以对晶圆进行刺穿
- 提供电容检测，用来指示无晶圆、晶圆吸附、释放状态
- 提供穿刺检测，用来指示穿刺是否成功
- LCD显示，可以显示吸附和穿刺电压以及电阻、电容检测值
规格与参数
条目/Tem
数据/Data
备注/Remark
输入/Input
100~264VAC/47~63Hz
开关在后面板，有保险丝
通讯方式/Communication
采用自定指令通过RS485与上位机通讯
吸附电压/Clamp Voltage
满量程550V，精度5%
双通道输出，极性相反
穿刺电压/Penetrate Voltage
1000~4000V输出，精度5%
环境/Environment
运行温度：0℃至45℃；储存温度：-35℃至85℃
尺寸/Dimensions
482.6mm×88.1mm×340mm（长×宽×深）
控制器标识定义
控制器前面板
前面板标识/Front Panelldentify
标识定义/ldentify Definition
PENETRATE
穿刺动作指示灯
GROUNDER
穿刺成功指示灯
ATTACH
吸附动作指示灯
RELEASE
释放动作指示灯
COM
程序修改烧录指示灯，实际使用中为常灭
HOLD
Wafer放置指示灯，当吸盘中放入Wafer后亮起
POWER
控制器电源指示灯
RUNNING
控制器运行指示灯
控制器后面板
后面板标识/Rear Panel ldentification
标识定义/Identify Definition
CHUCK+/-
吸附、释放高压接口
PENTRATE
穿刺高压接口
PEN_DETECTION
电阻检测接口
EARTH
静电吸盘接地接口
RS485
为DB9接头，可实现与上位机485通讯
ETHERNET
网络通讯接口
X1、X2、X3
功能预留接口，可做客户功能定制
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