日期:2026-06-25
上海格物光学 BeamL 全局快门 CMOS 光束分析仪,2048×2048 高像素,266~1200nm 紫外近红外波段,机身四面 M4/M6 标准安装通孔,适配半导体光源封装在线快检、激光器厂商以及高校科研光束测试;可实时测光斑直径、圆度、均匀性、M² 因子、发散角、像散、质心漂移,全局快门捕捉脉冲激光,支持 Python/LabVIEW 二次开发,7×24 小时工业稳定连续检测,国产高性价比光束质量分析仪。
BeamL 是格物光学自研量产的1 英寸全局快门 CMOS 光束分析仪,专为半导体自动化产线在线快检、激光器量产质检、高校 / 企业激光科研场景打造。整机采用一体化传导冷却结构,四面预留 M4、M6 多规格安装螺纹孔,多姿态灵活固定;覆盖 266-1200nm 主流激光波段,搭载 420 万高分辨率传感器,满足微小光斑、连续 / 脉冲激光全参数检测,配套专业 BeamView 分析软件,开放 SDK 支持 LabVIEW、Python 二次开发,完美替代进口光束检测设备。
在半导体加工、激光器研发与科研实验中,激光光斑质量检测是确保产品性能的关键环节。格物光学推出的BeamL激光光束分析仪,专为工业级在线快检与精密实验室测量场景打造,具备四面通孔固定设计、紧凑机身与高集成度等优势。
格物光学的光束质量分析仪优势
1.多姿态固定
- 四面通孔安装设计,产品采用全方位固定方案,顶部设有4个安装孔(节圆直径约φ39.1mm),侧面配备M6与M4螺纹孔,支持:①顶置安装:锁紧于光学平台或转台;②侧向安装:适配支架、镜筒或定制夹具;③多方向挂载,满足复杂光路集成需求
2.紧凑工业级机身
- 机身尺寸:约47mm×40mm×36mm(不含前端)
- 传感器有效面积:11.3mm×11.3mm
- 散热方式:传导冷却,无内置风扇,适合无尘环境
3.高分辨率全局快门成像
- 2048×2048 像素全局快门
- 无拖影捕捉脉冲激光,最小识别 55μm 微小光斑
4.宽光谱通用机型
- 266~1200nm 覆盖紫外、可见光、近红外,适配绝大多数工业与科研激光器
5.软硬件拓展性强
- 配套专业分析软件,开放 Python/LabVIEW 二次开发接口
- 适配产线 MES、实验室自动化系统,实时数据显示与统计分析
6.工业级长期稳定
- 传导冷却散热
- 整机老化出厂
- 支持 7×24 小时在线连续检测,抗温变、电磁干扰
7.国产高性价比
- 自研自产,交货周期短,售后响应快
- 可全面替代进口光束分析仪,大幅降低采购、运维成本
为什么选择格物光学的光束质量分析仪
国产化替代:可替代进口设备,性价比优势明显
模块化定制:支持波长、衰减、接口等参数定制
耐用稳定:全金属外壳、传导冷却设计,工业级可靠性
在线快检:高速面阵传感器支持连续/脉冲激光测量
典型应用场景
1.半导体加工设备光源检测
在封装检测产线上,高分辨率CMOS光斑分析仪可实现实时测直径、圆度、均匀性、M²、质心漂移等关键参数。格物光学BeamL系列支持在线快检模式,适配半导体激光器、固体激光器、光纤激光器及超快激光器的光斑监测。
2.激光器厂商与科研高校终端测试
生产厂商与高校实验室除M²质量分析外,常需测试发散角、像散、质心漂移、脉冲捕捉等科研参数。格物光学BeamL基于高速面阵CMOS器件,可记录光强信息、还原光斑分布,支持2D/3D光斑能量分布分析。
3.光学器件调试与校准
在激光腔镜调整、光纤耦合、准直系统调试等场景中,光束分析仪可提供实时曝光与增益调节功能,快速反馈光斑状态变化。
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上海格物光学仪器有限公司
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