微点可变角度透射率光谱仪(μVATS)是一种光学透射光谱测量系统，旨在测量光学材料和表面涂层微观区域中的角度分辨光学光谱透射率。与需要大型、平整样品的传统光学透射测量系统不同，μVATS能够在 5 μm 到 200 μm 的微小尺度上提供高精度的光谱测量，从而实现对微结构、自由曲面和空间非均匀涂层表面的准确角度分辨表征。
产品手册：
产品规格
可变角度微点测量
小斑点尺寸(1/e):5 μm-200 μm
入射角范围: 0° to 70°
角分辨率: ≤ 0.5°
透射率精度: < 0.02%
快速自动扫描
可编辑角度扫描
高通量光谱采集
支持批量测量
波长范围
标准: 350 nm-1000 nm
可选: 200 nm -2500 nm
光谱分辨率: 0.25 nm (典型值)
软件与数据分析
实时光谱可视化
角分辨透射率图:T(λ. θ)
导出至 CSV/ MATLAB / Python
可选薄膜厚度与材料分析
μVATS的独特之处
应用领域
生物医学设备与光学涂层
角度敏感光学涂层
内窥镜光学(曲面)
微样品光学吸收光谱
AR/VR 显示与半导体
AR/VR用微光学器件涂层
ITO、氧化物和多层薄膜
微型LED涂层与结构
晶圆级薄膜
光学封装
先进光子学
超表面
衍射光学元件
液晶器件
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