产品特点

 · 带卡盘快速拖出机构，方便晶圆上下片

 · 卡盘可360°旋转及小角度微调

 · 采用双臂万向显微镜支架，可360°无死角旋转或前后快速移动显微镜，方便快速定位任意针测位置

 · 卡盘平移台采用精密丝杆传动结构，无回程差设计，定位精准

 · 全新表面处理针座平台，摩擦力大，针座吸附更稳定

 · 卡盘可选镀金卡盘、高温卡盘、陶瓷卡盘、高透石英玻璃等

 · 兼容连续变倍体视显微镜或视频显微镜

 · 台面可个性化定制，满足特殊测试需求

 · 可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统

 · 模块化设计，方便后期功能扩展升级

应用方向

晶圆 / 样片 / 分立器件 / 晶体管 / 纳米器件 / 功率器件测试；封装器件 / PCB板测试；LED / PD / LD光电材料 / 器件的测试、可靠性分析或失效分析；30微米以上电极 / PAD测试；I / V、C / V、C / F、射频S参数、有源测试、耐压测试、ESD测试、混合参数测试等

样品台

尺寸

4英寸

6英寸

8英寸

X-Y移动行程

4英寸*4英寸

6英寸*6英寸

8英寸*8英寸

X-Y移动精度

10 μm

Z轴行程

5 mm（快速升降）/ 6 mm（微调升降）

样品固定方式

真空吸附，多圈环形、中心孔吸附/多孔吸附

快速拖出行程

80 mm

120 mm

150 mm

水平旋转

可360°水平旋转，可微调角度16°

可360°水平旋转，可微调角度12°

可360°水平旋转，可微调角度9°

背电极测试

有，样品台独立悬空，预留4mm香蕉头插孔

针座吸附平台

长方形针座平台，

最多可放置6个针座

长方形针座平台，

最多可放置8个针座

长方形针座平台，

最多可放置10个针座

光学成像系统

显微镜类型

可选配：连续变倍体视显微镜 / 单筒视频显微镜

放大倍数

   可选（推荐）：16X-100X（配置20X目镜时，目镜视野总放大倍数,主体变倍0.8X-5X）。备注：配备0.4X相机

   C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约23X - 138X，配备0.65X相机C-mount、22寸显示器时，显

   示器成像总放大倍数约36X – 224X；配备1X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约50X-350X。

   可选：8X-50X（配置10X目镜时，目镜视野总放大倍数）；

   可选：其他大变倍比体视显微镜（主体变倍0.75X-5X 或1.0X-6.5X等），或大变倍比视频显微镜（主体变倍范围

   0.7X-4.5X或0.58X-7.0X等）。

移动行程

采用双臂万向显微镜支架，水平方向可绕立柱360°旋转，水平方向前后可自由调节，Z轴50.8 mm

显微镜光源

标配环形LED光源，可选配同轴光源；可选配同轴&环形双光源集成模块，带切换开关

CCD像素

200 W像素（数字）/ 500 W像素（数字）/ 1200 W像素（数字）

探针座

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

移动精度

2 μm / 0.7 μm / 0.3 μm

吸附方式

磁力吸附 / 真空吸附

探针夹具

线缆

三轴线 / 同轴线

探针固定方式

弹簧固定 / 管状固定带锁紧

接头形式

BNC / 三轴 / TNC / SMA / 3.5mm / 2.92mm / N型 / 香蕉头 / 鳄鱼夹等

漏电精度

10PA / 100fA（需配置屏蔽箱）

外形（长*宽*高）(mm)

约600×400×600

约670×430×600

约800×550×600

重量(kg)

约45 kg

约65 kg

约75 kg

电力需求

220 V，50～60 HZ

可选附件

光学平台

屏蔽箱

高温样品台

有源探针

射频测试选件

光电测试选件

转接头

镀金卡盘

积分球测试选件

光纤夹具耦合测试选件

PCB / 封装夹具测试选件

根据客户要求特殊定制