产品特点

 · 显微镜底座采用龙门结构，刚性好，保证高质量光学成像

 · 金相显微镜气动升降调节，方便快速更换物镜或探针卡夹具、针卡

 · 大行程气浮式移动样品台，实现样品测试位置快速定位

 · 卡盘可360°旋转及小角度微调

 · 针座平台三段式不连续升降设计，分别用于探针接触、探针分离、晶圆取放或装载

 · 平移台精密丝杆传动结构，无回程差设计，定位精准

 · 可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统

 · 可集成积分球，进行光电测试

 · 可选配高低温测试卡盘

 · 台体底板隔振基座设计，有效吸收因环境引起的桌面振动，保证测试探针跟PAD电极稳定接触

 · FlyTest模块化设计，可随时扩展升级

应用方向

晶圆 / 微型机电系统(MEMS) / LED / LD / PD电学性能测试、组件特性描述和建模、材料或器件的IV / CV特性测试、封装器件 / PCB板测试、射频测试、高频 / 低频测试、高功率(HP)测试、失效分析(FA)、LED / OLED / LCD面板行业分析等。

样品台

尺寸

6英寸

8英寸

12英寸

平整度

＜ 15 μm

移动方式

大行程定位采用气浮移动方式，搭配千分尺精细调节移动方式

气浮X-Y总行程

240mm*310mm

330mm*410mm

精调X-Y行程

25mm*25mm

精调移动精度

≤ 1 μm

Z轴行程 / 移动精度

样品固定方式

真空吸附，多圈环形（中心孔）吸附 / 多孔吸附

水平旋转

可360°水平旋转，

可微调角度12°

可360°水平旋转，

可微调角度9°

可360°水平旋转，

可微调角度6°

光学成像系统

平台样式、规格

U型针座平台，最多可放置10个DC针座或6个射频针座

行程&调节方式

针座平台Z向微调升降最大行程42.5mm，微调移动精度≤10 μm，带自锁功能

平台快速升降

有，带3档快速升降位置调节，分别是0（探针接触），300 μm（探针脱离），

5 mm（装载样品），带自锁功能

显微镜类型

可选配：金相显微镜（推荐）/ 体视显微镜 / 单筒视频显微镜

物镜切换方式

显微镜气动快速升降50 mm

放大倍数

  金相显微镜：20 X-4000 X

  体视显微镜：（推荐）：16X-100（配置20X目镜时，目镜视野总放大倍数，主体变倍0.8X-5X）；

  体视显微镜备注：配备0.4X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约23X - 138X；配备0.65X相机

  C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约36X – 224X；配备1X相机C-mount、22寸显示器时，显示器

  成像总放大倍数约50X-350X；可选：8X-50X（配置10X目镜时，目镜视野总放大倍数）；可选：其他大变倍比体

  视显微镜（主体变倍0.75X-5X或1.0X-6.5X等）

镜头规格

目镜：10X，物镜：2X（选配）、5X、10X、20X、50X（选配）、100X（选配）

移动行程

X-Y行程2英寸*2英寸，Z轴行程：50.8mm

移动精度

＜5 μm

显微镜光源

金相显微镜：采用同轴垂直照明系统，标配外置冷光源，2m长的照明光纤

体视显微镜 / 视频显微镜：标配环形LED光源，可选配同轴光源

CCD像素

200万像素（数字）/ 500万像素（数字）/ 1200万像素（数字）

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

移动精度

2 μm / 0.7 μm / 0.3 μm

磁力吸附 / 真空吸附

三轴线 / 同轴线

探针固定方式

BNC / 三轴 / TNC / SMA / 3.5mm / 2.92mm / N型 / 香蕉头 / 鳄鱼夹等

10PA / 100fA（需配置屏蔽箱）

外形（长*宽*高）(mm)

800×750×650

800×750×650

900×800×650

重量(kg)

175 kg

180 kg

200 kg

电力需求

220 V，50～60 HZ

可选附件

光学平台

屏蔽箱

高温样品台

射频测试选件

光电测试选件

有源探针

镀金卡盘

同轴 / 三轴卡盘

转接头

积分球测试选件

光纤夹具耦合测试选件

PCB/封装夹具测试选件

显微镜暗场 / DIC选件

激光器

共聚焦显微扫描光电流成像系统

激光共聚焦拉曼+瞬态荧光成像系统

根据客户要求特殊定制

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