产品手册：

产品特点

 · 高真空度，真空度优于5×10-4 Pa（约4×10-6 Torr）

 · 高精度温控系统，自动冷媒流量控制，4.5 K / 77.4 K -675 K温度区间内精确控制样品台温度

 · 防辐射屏设计，保证样品温度均匀

 · 兼容高倍率金相显微镜

 · 采用液氮或氦气压缩机制冷

 · 可选配开尔文探针，更低的漏电精度

 · 可升级光学、光电流测试、光学接入等

 · 可定制加载磁场的真空探针台量或DC偏置

应用方向

MCVP系列高低温真空探针台，能够为测试样品提供高真空和极端高温 / 低温的测试环境，非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试，应用方向有：真空&极端温度条件下的芯片 / MEMS / NEMS测试；宽温区材料或器件的IV / CV特性测试；LD / LED / PD测试；光谱特性测试；霍尔效应测量；可变磁场环境中电磁输运特性测试；微波射频测试；瞬态光电流响应测试；拉曼-瞬态荧光寿命成像；电-光效应测试；超导测试试验等。

样品台

样品台尺寸

2英寸

4英寸

2英寸

样品固定方式

样品台类型

固定或旋转样品台

固定或旋转样品台

观察窗尺寸

2英寸

真空度

低温优于4×10-6 Torr或5*10-4 Pa

制冷方式

液氮

制冷机

温度范围

约77.4 K -575 K，可选77.4 K-675 K

8 K -350 K（固定载台）

25 K-350 K（旋转载台）

温控精度

0.1 K / 0.01 K / 0.001 K

温度稳定性

±0.3 K(473 K-675 K)，±0.1 K(>-153 K)，±0.2 K(<-153K)

低温控制方式

开循环自动液氮流量控制

闭循环自动控制

加热电源

LVDC低压直流

加热功率

100 W / 200 W / 500W / 1000W

传感器

硅二极管 或 PT100

样品台、探针臂、防辐射屏各1个

显微镜光学系统

类型

体视显微镜 / 单筒视频显微镜 / 金相显微镜

放大倍率

16X-200X（体视显微镜，其他变倍比可选）/ 20X -4000X（金相）

/ 视频显微镜（主体变倍范围0.7X-4.5X或0.8X-5.0X等可选）

移动行程

双臂万向支架，可水平方向任意位置无死角前后移动，360°旋转，

Z轴行程50.8 mm（适合体视或单筒视频显微镜） / X-Y微调移动2英寸× 2英寸或4英寸×4英寸（适合金相显微镜）

光源

外置LED光源 / 同轴光源

CCD相机

200 W / 500 W / 1200 W像素可选

探针臂

50 mm-50 mm-25 mm或100 mm-100 mm-25 mm

探针调节方式

5 μm / 2 μm 

刀片陶瓷探针

线缆

同轴 / 三轴 / 射频同轴

10 pA / 100 fA / 30 fA

BNC / 三同轴TRB / SMA / 3.5 mm / 2.92 mm / 2.4 mm / 1.85 mm / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子 / 光纤接口

射频探针频率范围

DC～67 GHZ

真空系统

机械泵 / 分子泵真空机组

外形尺寸（长×宽×高）(mm)

约900×900×600

约1000×1000×600

重量(kg)

约180 kg

约190 kg

约350 kg

电力需求

AC 220 V，50 ～ 60 HZ

可选附件

超高温升级选件

超高真空选件

镀金卡盘

离子泵

移动样品台

高压测试选件

光电流扫描成像系统

气敏测试选件

射频测试配件

拉曼-瞬态荧光寿命成像系统

其他定制