探针夹具
技术参数
型号
MTP-40T
MTP-100T
MTP-150
尺寸
73×48×68mm(L×W×H)
111×66×116mm(L×W×H)
95×64×105mm(L×W×H)
重量
约200g
约1000g
约700g
X-Y-Z方向行程
12mm-12mm-12mm
丝杆精度
40 Thread / Inch
100 Thread / Inch
150 Thread / Inch
移动控制精度
2 μm
0.7 μm
0.5 μm
固定方式
磁力吸附
磁力吸附 / 真空吸附
特点
· 线性移动
· I / O Pad点测
· 可配合同轴 / 三轴夹具使用
· 可选配夹具30°倾仰
· 线性移动、无后座力
· I/O Pad点测
· 亚微米级集成电路针测
· 配合射频探针夹具，可配置为东、西、南、
北四个方向的射频针座
· 射频测试能力：DC到40～120 GHZ
· 可配合使用校准片和校准软件
· 进口高精密牙具
探针座
类型
三轴探针夹具
同轴探针夹具
高压探针夹具
线缆
三同轴线缆
同轴线缆
耐高压三同轴线缆
探针固定方式
管状、管状带锁紧
管状、管状带锁紧、弹簧
十字劈分状带锁紧
长度
2 m或定制长度
接头
三轴公
同轴公
高压SHV或HV公
最大耐压
1500 V
700 V
3300 V / 5500 V / 10000 V
最大电流
直流1 A / 脉冲10 A
漏电精度
100 fA
10 PA
1 PA
直流探针
直流测试探针分为硬针和软针，针尖直径有0.2um，1um，2um，5um，10um，20um，50um，100um，200um多种规格可选，长度分别为38mm和51mm，材质钨钢或者铍铜。
GGB ST和BC10系列硬针是0.020 inch(0.51mm)直径的钨材质针杆，经过精密电化学加工成为不同的针尖直径&长度为1.5inch(38.1mm)的探针，这种探针应用于绝大多数的芯片电极点测和线路点测，还可以用于与刮擦或者刺穿芯片表面钝化层。ST系列探针可以选择表面镀镍，如果选择镀镍则型号后面增加“NP”。
ST 系列硬探针
耐压：10 KV、电流：1 A
针杆直径（材质钨或铍铜）
针尖直径
ST-20-0.5 /
0.020" (0.51mm)
<1.0 μm
ST-20-1.0
<2.0 μm
ST-20-2.0
<5.0 μm
ST-20-5.0
<10.0 μm
ST-20-10.0
<20.0 μm
ST-20-20.0
<40.0 μm
BC10-25.0
<50.0 μm
BC10-50.0
<100.0 μm
BC10-100.0
<200.0 μm
GGB T-4系列软针
GGB T-4系列软针，较多的应用于集成电路的线路、电极，及FIB（聚焦离子束）制作的mini电极的点测，T-4系列软针的结构采用不同直径钨材质针须焊接于镀锡的铜材质针杆上。其针须直径较细，具有良好的弯曲弹性，能够极大的减少对芯片电极的损害，在部分震动环境下面也能够保证和电极的良好接触。但T-4软针不建议在敏感节点使用，因为会产生电容负载的问题，在此环境下，建议使用高阻抗Picoprobes。
T-4 系列软探针
耐压：1000V、电流：0.5A
针须长度
<0.2 μm
0.13" (3.3 mm)
T-4-22
22微米
0.20" (5.1 mm)
35微米
<4.0 μm
60微米
<6.0 μm
T-4-125
125微米
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