格物光学RD180-00系列-精密机械转台采用了扁平的设计思想，能实现旋转方向高精度、高刚度无限制运动，可广泛应用于晶圆工序控制、晶圆切片、晶圆划线、激光热处理、光伏电池生产等领域。
产品手册：
- 无齿槽电机技术（零齿槽力）确保高速稳定性
- 高精度的光学式线性编码器反馈
- 无限制的角度运动，可选旋转角度硬限位
- Chuck真空接口，支持多气路供气
- 优异的定位精度和动态性能
- 端跳、轴跳精度高
规格与参数
精度/Accuracy*
标定后/Calibrated
重复精度/Repeatability*
轴向跳动/Axial Error Motion
±3 μm
径向跳动/Radial Error Motion
±3.5 μm
倾斜误差/Tilt Error Motion
10 arcsec
最大持续转矩/Maximum Torque (Continuous)
2.4 Nm
最大转速/Max Speed
150 rpm
位置稳定性/Typical position stability(3σ)*(3σ)
±0.072 arcsec
Move 1: 1 deg within±40udeg*
100 ms
Move 2: 180 deg within±40udeg*
500 ms
机械特征/MechanicalSpecifications
最大负载/Max Load
轴向/Axia
7 Kg
径向/Radial
0.00038 Kg.m2
*测试数据来源于采用20um pitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
精密机械转台可选项：在RD180-00产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、Chuck供气路数、控制系统等选项。
表2 Chuck供气选项
Chuck单气路供气
Chuck双气路供气
Chuck三气路供气
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