PMNL-C系列-压电微步电机

  • 格物光学12-PMNL-C系列-压电微步电机-1.png


    格物光学PMNL-C系列——压电微步电机是一种新型仿生式压电执行器,通过多组多维度压电执行器单元按照步进式的多组动作逻辑进行驱动,实现对电机动子的直线驱动。其主要特点是体积小、驱动力大;在静态下可以保持高夹持力,且无热功耗;可以将单步实现高细分,实现纳米级高分辨率;步进式运动方式,可以实现毫米级大运动行程。


    产品手册: image.png


    特点:应用:

    高驱动力

    - 纳米精度

    - 高静态加持力

    - 大行程范围

    - 高分辨率



    - 光刻机镜头精密调节

    - 无磁环境

    - 精密医学检测设备

    - 太空科学

    - 精密电子显微镜调节

    - 真空无发热环境

    - 精密半导体设备



    机械尺寸图:
    格物光学12-PMNL-C系列-压电微步电机-2.png格物光学12-PMNL-C系列-压电微步电机-3.png



  • 规格与参数


    PMNL-C05-10N

    PMNL-C10-10N

    单位

    公差

    运动轴/Active Axes

    X

    X



    运动和定位/Motion&Positioning

    运动行程/Travel range

    10
    10

    mm


    模拟量模式下行程/

    Travel range (analog mode)

    ±2±2μm

    传感器/Sensor

    --

    开环分辨率/

    Open loop resolution

    11nm典型值

    闭环分辨率/

    closed loop resolution

    --nm

    速度/velocity

    1.01.0mm/s最大值

    最大驱动频率/

    Max.drive frequency

    250250Hz±20%

    机械特性/Mechanical Properties

    驱动力/Drive force

    50100N最大值

    保持力/Holding force

    70130N最大值

    驱动特性/Drive Properties

    电机类型/Motor type

    压电微步电机压电微步电机

    工作电压/Operating voltage

    -250~+250-250~+250V

    其他/Miscellaneous

    工作温度范围/operating

    temperature range

    0~550~55

    材料/Material

    铝,不锈钢,钛铝,不锈钢,钛

    重量/Mass

    115160g±5%

    电缆长度/Cable length

    22m±0.05m

    电机接口/Motor Interface

    Sub-D15公头Sub-D15公头




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