格物光学PMNL-A02系列——微步位移台是基于陶瓷微步电机的运动平台，通过陶瓷电机的步进式驱动方式实现对运动轴台面的直线驱动。微步运动台体积小、驱动力大；在静止状态下可以保持高保持力，无热功耗，无磁泄露；具有毫米级大运动行程和纳米级高分辨率。
产品手册：
- 高驱动力
- 纳米精度
- 高静态夹持力
- 大行程范围
- 高分辨率
- 可适用于高真空环境(<10⁵Pa)
- 可适用于无磁环境
- 光刻机镜头精密调节
- 无磁环境
- 精密电子显微镜调节
- 真空无发热环境
规格与参数
PMNL-A02-20
单位
公差
运动轴/Active Axes
X
运动和定位/Motion&Positioning
运动行程/Travel range
20
mm
模拟量模式下行程/
Travel range in X (analog mode)
±2
μm
传感器/Sensor
开环分辨率/Open loop resolution
1
nm
闭环分辨率/Closed loop resolution
速度/Velocity
0.6
mm/s
最大值
最大驱动频率/Max.drive frequency
150
Hz
±20%
机械特性/Mechanical Properties
驱动力/Drive force
N
保持力/Holding force
30
最小值
驱动特性/Drive Properties
电机类型/Motor type
陶瓷微步电机
工作电压/Operating voltage
-250~+250
V
其他/Miscellaneous
工作温度范围/operating
temperature range
0~55
℃
材料/Material
不锈钢，钛合金
重量/Mass
g
±5%
电缆长度/Cable length
2
m
±0.05m
电气接口/Electrical interface
5ub-D15公头
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