格物光学M6S800-00系列-堆叠式精密六维运动台采用模块化、超薄设计、正交性设计等的理念，将Z3T标准模组集成在XYY堆 叠式水平运动模组之上，能实现X、Y、Rx、Ry、T和Z轴6自由度的高精度、高刚度运动。其中Z3T标准模 组采用紧凑设计技术，集成了Z、Rx、Ry和T轴，具有拥有优异的定位精度、平面度、直线度、刚性和重 复性精度的功能。垂向采用了独特的磁浮重力补偿技术，降低了垂向音圈电机的载荷，很大程度地提高 了垂向运动性能和寿命。XYY堆叠式水平运动模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等，特别适用于特定大型面板/基体上的倒晶封 装。
产品手册：
特 点
- 堆叠式7轴平台，正交性设计
- 全局平面度、直线度达微米级
- X/Y轴
高刚度、高精度导轨设计
线缆扰动力一致性设计
- Z3T轴
垂向磁悬浮重力补偿，可实现高定位精度
柔性导向设计
垂向增量光栅,最高可实现1.2纳米分辨率
超薄型、轻量化设计
最大支持转速240rpm
机械尺寸图：
规格与参数
*测试数据来源于采用8μm pitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
定制信息
堆叠式精密六维运动台可选项：在M6S800-00产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的 可选项。可选内容包括编码器、控制系统等选项。
表1 编码器选项
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
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