产品手册：
- 库伦型静电吸盘
- 支持双电极、多电极设计
- 适用于10-5Pa及以下超高真空环境
- 静电吸附力大，24H残余吸附力>60%
- 吸附面全局面型精度高
- 吸附面表面图形可定制
- 适用于无磁环境
- 电子束光刻/E-Beam Lithography和EUV光刻/E-BeamLithography
- 量测/Metrology
- 平板显示领域/Display manufacturing
- 电子束晶圆缺陷检测/E-Beam and defect review
- 键合/Wafer bonding
规格与参数
产品型号
6inch ESC
8inch ESC
12inch ESC
单位
公差
原理类型/Theory Type
库伦型
电极数量/Number of
Electrodes
双电极
精度/Precision
全局平面度/Peakto valley
<1
<2
μm
平行度/Parallelism
<5
电气参数/Leakage current
标准吸附电压/Standard
Adsorption Voltage
1000
V
漏电流/Leakage Current
nA
性能参数/Performance Parameter
吸附力/Adsorption Force
≥10
≥20
≥40
N
24h残余吸附力/Residual
Adsorption Force
≥6
≥12
≥24
外形尺寸/Size
直径D/Diameter
144
194
294
mm
厚度H/Thickness
12.6
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