针座台面6级不连续机械抬杆快速升降，4套导轨丝杆同步微调升降

产品特点

 · 气浮式平台结构设计，可快速X轴、Y轴方向移动载物台进行样品定位

 · 样品台的XY轴可大行程精密微调定位

 · 样品台的Theta轴，采用精密千分尺微调移动

 · 显微镜底座采用龙门结构，刚性好，保证高质量光学成像

 · 无缝集成任何带状，差分或宽带频率扩展器，最高可达1.5 THz和 / 或自动阻抗调谐器

 · 显微镜支架兼容多种单筒 / 体视显微镜，非常适合RF和mmW应用

 · 显微镜气动升降调节，方便快速更换物镜或探针卡夹具、针卡

 · 探针座平台6级机械抬杆不连续升降设计，分别用于探针接触、探针悬停、探针分离、晶圆取放或装载

 · 样品保护功能：气浮载台气浮互锁设计，探针接触样品时，无法打开气浮气路，防止人员误触使载台移动损坏样品

 · 标配带有BNC连接器的标准RF卡盘，可选配三轴超低漏电、高低温测试卡盘

 · 可以放置大型射频扩频模块定位器（探针座），轻松应对四端口RF测量或DC偏置

应用方向

晶圆 / 微机电系统(MEMS) / LED / LD / PD电学性能测试、组件特性描述和建模、射频测试、高频 / 低频测试、太赫兹mmW测试、材料或器件的IV / CV特性测试、封装器件 / PCB板测试、失效分析(FA)等。

平整度

＜ 5 μm

大行程定位采用气浮式快速移动，搭配千分尺精细调节移动方式

255mm*325mm

330mm*420mm

精调X-Y行程

8寸行程255mm*325mm ，12寸行程330mm*420mm，精密微调

X-Y精调移动精度

≤ 2 μm

9 mm（微调升降），微调移动精度1 μm

真空吸附，多圈环形（中心孔）吸附 / 多孔吸附

水平旋转

可360°水平旋转，可微调角度15°，

微调精度0.1°

可360°水平旋转，可微调角度10°，

微调精度0.1°

同轴卡盘，样品台电学独立悬空，预留同轴BNC接头（可转4mm香蕉头），

可选配三同轴轴卡盘（带三轴TRB接口）

采用互锁模式，在点针测试时防止样品移动损伤样品

O型或长方形针座平台，

最多可放置10个DC针座或6个射频针座

O型或长方形针座平台，

最多可放置12个DC针座或8个射频针座

针座平台Z向4套导轨丝杆同步微调升降，最大行程20mm，精密丝杆传动

有，带6档快速升降位置调节，分别是0（探针接触），50μm / 100μm / 150μm（探针悬停）、300 μm（探针脱离），3 mm（装载样品），重复定位精度1μm，带自锁功能

可选配：单筒视频显微镜 / 体视显微镜

显微镜气动快速升降75 mm

  体视显微镜：（推荐）13.4X-90（配置20X目镜时，目镜视野总放大倍数，主体变倍0.67X-4.5X），可选：

  6.7X-45X（配置10X目镜时，目镜视野总放大倍数）；或其他变倍比型号显微镜；体视显微镜CCD成像倍数：配备

  0.5X相机C-mount、22寸显示器时，显示器成像总放大倍数约34X - 157X；配备1X相机C-mount、22寸显示器时，

  显示器成像总放大倍数约46X – 314X；

  单筒视频显微镜：（推荐）主体变倍0.75X-5X或1.0X-6.5X

  金相显微镜：支持

镜头规格

目镜：10X / 20X，金相物镜：2X、5X、10X、20X、50X（选配）、100X（选配）

移动行程

显微镜X-Y行程：2英寸*2英寸，Z轴行程：50.8mm

＜5 μm

体视显微镜：标配环形LED光源

单筒视频显微镜：标配同轴高亮点光源，可选配光纤冷光源

200万像素（数字）/ 500万像素（数字）/ 1200万像素（数字）

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

2 μm / 0.7 μm / 0.35 μm

吸附方式

磁力吸附 / 真空吸附

线缆

三轴 / 同轴 / 高压同轴 / 高压三同轴

探针固定方式

弹簧固定 / 管状固定 / 螺纹固定

N型 / SMA / 3.5mm / 2.92mm / 1.85mm / 1.0mm同轴BNC / 三轴TRB / 香蕉头等

漏电精度

10 pA / 100 fA / 30 fA（需配置屏蔽箱）

样品保护功能

有，气路互锁，样品防误触保护

约650*550*640

780*750*650

约110kg

约180kg

220 V，50～60 HZ

光学平台

高温样品台

有源探针

镀金卡盘

同轴 / 三轴卡盘

高低温卡盘

PCB / 封装夹具

测试选件

高压 / 大电流卡盘及

套件

探针卡夹具

（可安装针卡）

显微镜暗场 / 

DIC选件

共聚焦显微扫描光电流

成像系统

LIV测试系统

激光共聚焦拉曼

+瞬态荧光成像系统

按需特殊定制